[发明专利]一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质

说明书

本发明提供了一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质，涉及工艺质量管控技术领域。所述工艺质量分析方法包括：获取多晶硅生产工序中的至少一个工艺参数的运行数据；对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据；根据筛选后的运行数据，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果；其中，所述工艺质量分析为以下至少一项：过程能力分析；方差分析；试验设计分析；可靠性分析；多变量分析。本发明的方案能够对多晶硅生产工序中的工艺参数进行分析，从而为多晶硅的质量提升奠定基础。

技术领域

本发明涉及工艺质量管控技术领域，尤其是涉及一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质。

背景技术

在多晶硅产品的生产过程中，工艺参数的质量稳定性对于多晶硅产品质量至关重要，在目前的控制方式中，对于工艺参数的质量分析大多采用在DCS(Distributed ControlSystem，分布式控制系统)或者PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)系统中进行历史趋势分析方式，或者采用人为统计分析方式。其中，历史趋势分析方式，虽然整体较为直观，但实质是为定性型的判断，当趋势较为平稳时，定性型的分析精度已不足以支撑生产要求；人为统计分析方式，存在着分析方式不统一，数据处理工作量大，分析周期覆盖不全，效率低等诸多问题。因此上述两类分析方式的弊端日益突出，急需一种高效的工艺质量分析方式。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质，从而解决现有技术中多晶硅生产过程的工艺参数分析效率低的问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种工艺质量分析方法，包括：

获取多晶硅生产工序中的至少一个工艺参数的运行数据；

对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据；

根据筛选后的运行数据，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果；

其中，所述工艺质量分析为以下至少一项：

过程能力分析；

方差分析；

试验设计分析；

可靠性分析；

多变量分析。

可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，所述方法还包括：

在所述工艺质量分析结果指示控制达标的情况下，确定所述工艺参数的运行范围。

可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，所述对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据，包括：

对于每一所述工艺参数，按照预设时段，将所述运行数据划分为至少一个数据组；

对每一所述数据组进行统计分析，获取质量控制信息；

根据所述质量控制信息，判断所述数据组中是否存在异常运行数据；

在所述数据组中存在所述异常运行数据的情况下，根据所述异常运行数据，对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据。

可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，所述根据所述质量控制信息，判断所述数据组中是否存在异常运行数据，包括：

根据所述质量控制信息，生成控制图；其中，所述控制图包括移动极差控制图和/或I-控制图；

采用判异原则对所述控制图上的数据点进行分析，判断所述数据组中是否存在异常运行数据。

可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，所述判异原则为所述控制图上的数据点满足第一条件的情况下，确定所述数据组中存在所述异常运行数据；