[发明专利]一种PERC太阳能电池扩散工序自动化装卸装置有效
申请号: | 202211336379.4 | 申请日: | 2022-10-28 |
公开(公告)号: | CN115394699B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 向玉明;陈泽其;曹琳;陈阳泉;戴亮亮;卢发树;柯雨馨;许光荣 | 申请(专利权)人: | 阳光中科(福建)能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;H01L21/02;B08B15/04;B08B17/02;F16F15/02 |
代理公司: | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人: | 吕林凤 |
地址: | 362000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能电池生产技术领域,具体为一种PERC太阳能电池扩散工序自动化装卸装置,包括机台底座和安装在机台底座上的x方向运输线、y方向运输线和升降平台。本发明采用y方向运输线和升降平台相互配合实现的平稳运输及向上托起动作替代传统装卸装置中的挂臂的夹装、搬运和悬吊的动作,由于在整个装卸过程中石英舟底部全程有承托,增加了石英舟在运输过程中的平稳性,相较于挂臂搬运运输在同时保证电池片极低破损率的同时可适当提高石英舟的装卸效率,从而增加太阳能电池片的制造效率,同时避免了挂臂使用过程中对石英舟的间歇性拉伸和挤压,由此提高了电池片后续扩散质量,增加了石英舟的使用寿命,减小了太阳能电池的制造成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 perc 太阳能电池 扩散 工序 自动化 装卸 装置 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造