[发明专利]一种用于连续化气相沉积法走丝的设备

摘要

一种用于连续化气相沉积法走丝的设备，石英管一端设有气氛进口和进丝口，另一端设有尾气出口和出丝口，所述石英管内腔中部为反应区，所述石英管的反应区设置在管式炉体的加热区域内，所述石英管的气氛进口通过管路与气氛通入装置的出口连通，所述石英管的尾气出口通过管路与尾气处理装置的进口连通，所述液封箱包括前置液封箱和后置液封箱，所述石英管的进丝口设置在前置液封箱液面以下，所述石英管的出丝口设置在后置液封箱液面以下；导轮机构控制将待处理的纤维从石英管的进丝口导入、从出丝口导出，本装置结构简单，能连续生产、并能改善待处理纤维的介电性能和力学性能，在吸波材料、复合材料增强等领域有着良好的应用前景。