[发明专利]一种楔形双折射器件相位延迟量测量光路及测量方法在审
| 申请号： | 202211322616.1 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115541203A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 陈强华;关裕;邵多;刘福铭;吕洪波;孙启国;司丽娜;何广平 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 高福勇 |
| 地址： | 100144 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种楔形双折射器件相位延迟量测量光路及测量方法，其光路结构包括分光镜、半波片、第一聚焦透镜、反射镜，还包括缩束单元、四分之一波片及第二聚焦透镜；入射光经所述分光镜后被分为透射光和反射光，沿此反射光前进方向依次设有第一偏振片、第一光电探测器，沿此反射光前进方向的反向依次设有第二偏振片、第二光电探测器；沿透射光前进方向依次设有所述缩束单元、半波片、待测双折射器件、第一聚焦透镜、四分之一波片、第二聚焦透镜、反射镜。本发明可以测量楔形结构以及具有变化楔角斜面、曲面或其他出射表面不平行于入射表面结构的双折射器件的相位延迟量，且光路结构简单，测量方法简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 楔形 双折射 器件 相位 延迟 测量 测量方法 | ||
【主权项】：
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