[发明专利]一种水平式自动上片机在审
| 申请号： | 202211320056.6 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115896906A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 余丞宏 | 申请（专利权）人： | 苏州汇富弘自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/66;H01L21/67;C25D21/10;C25D21/12;C25D7/12 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 周勤径 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水平式自动上片机，包括主机架,挂具夹持机构，挂具翻转机构，挂具平移机构，开关盖机构，升降式清洁检测机构及探测机构，其中挂具夹持机构安装在挂具翻转机构上，对挂具进行定位夹紧，同时由翻转机构将竖直的挂具翻转成水平，由挂具平移机构将水平状态的挂具移送至晶圆片上料处，所述开关盖机构安装在主机架上，对挂具进行外盖开关操作，所述升降式清洁检测机构安装在主机架上，对开盖后的挂具进行清洁检测，所述探测机构安装在主机架上，对上片后的挂具密封性及导电性进行探测。本发明为通用型上片机，通过更换不同的开关盖结构实现不同密封方式的解密封操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水平 自动 上片 | ||
【主权项】：
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