[发明专利]一种新型TOPCon太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明涉及光伏组件生产领域，特别是涉及一种新型TOPCon太阳能电池及其制作方法，包括正面外延层、硅片主体及背面外延层；所述硅片主体从受光面到背光面依次包括n型基体硅、隧穿氧化层及掺杂多晶硅层；其中，所述n型基体硅靠近所述受光面的表面包括硼掺杂区；所述正面外延层由内向外依次包括正面氮氧化硅钝化层、正面外延层及正面电极；所述背面外延层由内向外依次包括背面钝化层、背面外延层及背面电极。本发明在TOPCon电池的正面采用所述正面氮氧化硅钝化层作为钝化层，降低了正面外延层设置过程中需要的烧结温度，减轻了对设备的负担，降低了生产成本，与硅基体之间的接触性能得到改善，达到了更好的表面钝化效果。