[发明专利]电子级六氯乙硅烷及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202211313645.1 | 申请日： | 2022-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN115594183B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 孙江桥;吴鹏;张正阳;马一雷;徐玲锋;吴锋;田新;蒋文武 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/12;C01B21/068 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 雷玉龙 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级六氯乙硅烷及其制备方法和应用，该制备电子级六氯乙硅烷的方法包括：(1)对电子级多晶硅生产系统的尾气进行分离，以便得到氢气和四氯化硅，对电子级多晶硅生产系统中氢化后的混合气体进行精馏，以便得到三氯氢硅；(2)将四氯化硅、氢气、三氯氢硅和硅混合，反应，以便得到六氯乙硅烷混合气；(3)对六氯乙硅烷混合气进行分离，以便得到电子级六氯乙硅烷。由此，显著提高了六氯乙硅烷的纯度，显著提高了电子级多晶硅生产系统中尾气的利用率，极大降低了生产操作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 级六氯乙 硅烷 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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