[发明专利]电极丝连接部件、CVD装置以及存储介质基板的制造方法

摘要

一种电极丝连接部件、CVD装置以及存储介质基板的制造方法,其使用利用了电极丝的CVD法在腔室内在基板上进行膜的形成时,能够抑制在腔室内生成的固态物的堆积以及脱落。本发明的电极丝连接部件在电极丝配置于由外壁形成的腔室内的CVD装置中,以贯通外壁的方式进行安装,从而进行来自腔室外的电源的配线与电极丝的电连接,该电极丝连接部件包括用于安装电极丝的头部和贯通外壁而用于连接来自电源的配线的杆部,头部具有设于顶端部的电极丝安装部和以自顶端部朝向外壁侧逐渐扩展的方式形成的侧面,在自轴向投影观察时,头部的侧面的外形与电极丝连接部件的外形一致。