[发明专利]一种双栅结型场效应晶体管及其制备方法在审
申请号: | 202211301212.4 | 申请日: | 2022-10-24 |
公开(公告)号: | CN115642184A | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 霍能杰;张凯;孙一鸣;李京波 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | H01L29/80 | 分类号: | H01L29/80;H01L29/267;H01L21/34 |
代理公司: | 北京清控智云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11919 | 代理人: | 仵乐娟 |
地址: | 510898 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明涉及一种高性能的双栅结型场效应晶体管及其制备方法,在一优选实施例中,其包括二维Te和二维MoS |
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搜索关键词: | 一种 双栅结型 场效应 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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