[发明专利]反射率测定装置、成膜装置在审
| 申请号： | 202211298857.7 | 申请日： | 2022-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN116083874A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 朴笑敏 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/04;C23C14/24;G01N21/47;G01N21/55;H01L21/66;H10K71/00;H10K71/16 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及反射率测定装置、成膜装置。用于防止反射率的测定精度降低。反射率测定装置具备：光源；投受光头，所述投受光头具备投光部、反射光输入部及修正光输入部，所述投光部向被测定物照射被输入到投受光头的来自光源的光所包含的第一光和第二光中的第一光，所述反射光输入部将第一光由被测定物反射后的反射光输入到第一线材，所述修正光输入部将第二光不照射到被测定物而输入到第二线材；测定构件，所述测定构件对经由第一线材传送的第三光的强度和经由第二线材传送的第四光的强度进行测定；以及确定构件，所述确定构件基于由测定构件测出的第三光的强度和第四光的强度来确定被测定物的反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 反射率 测定 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211298857.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
