[发明专利]一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架

摘要

本发明涉及蚀刻加工领域，本公开的实施例描述了一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架。本文描述的一种蚀刻喷淋架，包括有供气管和喷淋组件等；供气管连接喷淋组件。本发明每个喷淋组件通过气流将蚀刻液喷淋并均摊到蚀刻板表面后，吸液组件能够及时将蚀刻板表面的蚀刻液吸除干净，并且喷淋组件直接以向下喷淋的方式，将蚀刻液喷淋在蚀刻板表面，能够有效避免蚀刻板的侧边沿被喷淋到大量的蚀刻液。解决了在蚀刻加工期间，喷嘴以四周喷散的方式喷淋蚀刻液，使喷淋架的设计和加工难度较高，以及蚀刻板的侧边沿局部区域易出现被腐蚀现象的技术问题。