[发明专利]一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架

说明书

本发明涉及蚀刻加工领域，本公开的实施例描述了一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架。本文描述的一种蚀刻喷淋架，包括有供气管和喷淋组件等；供气管连接喷淋组件。本发明每个喷淋组件通过气流将蚀刻液喷淋并均摊到蚀刻板表面后，吸液组件能够及时将蚀刻板表面的蚀刻液吸除干净，并且喷淋组件直接以向下喷淋的方式，将蚀刻液喷淋在蚀刻板表面，能够有效避免蚀刻板的侧边沿被喷淋到大量的蚀刻液。解决了在蚀刻加工期间，喷嘴以四周喷散的方式喷淋蚀刻液，使喷淋架的设计和加工难度较高，以及蚀刻板的侧边沿局部区域易出现被腐蚀现象的技术问题。

技术领域

本发明涉及蚀刻加工领域，尤其涉及一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架。

背景技术

蚀刻加工指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果，为提高蚀刻加工的表面均匀性，需要对喷淋架的喷淋方式进行改进，如专利CN111447751B描述的一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架，通过将喷嘴喷淋区域设置为倾斜状态，良好的避免相邻喷嘴喷淋区域重叠的情况。

尽管上述专利使得线路板表面能够更加均匀的被蚀刻，但存在以下缺点：

为保障相邻喷嘴的喷淋区域不被重叠，还要保障蚀刻板的表面均能够覆盖到喷淋出的蚀刻液，因此对喷嘴的安装位置精确度，以及相邻喷嘴之间间隔的精确度要求较高，导致喷淋架的设计和加工难度较高，并且喷嘴是以四周喷散的方式喷淋蚀刻液，位于蚀刻板外侧的喷嘴易将蚀刻液喷淋到蚀刻板的侧边沿，若蚀刻板的侧边沿不在保护膜的覆盖区域，将导致蚀刻板的侧边沿局部区域出现被腐蚀现象。

发明内容

为了解决在蚀刻加工期间，喷嘴以四周喷散的方式喷淋蚀刻液，使喷淋架的设计和加工难度较高，以及蚀刻板的侧边沿局部区域易出现被腐蚀现象的技术问题，本发明提供一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架。

本发明的技术实施方案是：本文描述的一种蚀刻喷淋架，包括有固定架、升降气缸、固定框、供气管、供液管、喷淋组件、传动组件、副管道和吸液组件；固定架的四个边角各固接有一个升降气缸；四个升降气缸的伸缩端之间固接有固定框；

固定框的前侧和后侧各固接有一个供气管；两个供气管上各接通有若干个进气管；两个供气管的左侧和右侧各固接有一个顶架；每左右两个顶架之间各共同固接有一个供液管；两个供液管上各接通有一个进液管；两个供气管之间连接有若干个在气流引导下喷淋朝向一致的喷淋组件；所有喷淋组件分别通过一个导液管共同连接供液管；两个供气管的相背侧各连接有一个统一调控喷淋组件喷淋朝向的传动组件；固定框的前端和后端各固接有一个副管道；两个副管道上各接通有若干个抽吸管；两个副管道之间连接有若干个吸除蚀刻液的吸液组件，吸液组件的数量比喷淋组件的数量多一个，并且吸液组件与喷淋组件之间以间隔式相互交替排列；所有吸液组件均连接两个供气管。

进一步的是，喷淋组件包括有输气管、第一支管、主直齿轮、输液管和喷液口；两个供气管之间接通有输气管；输气管的中部设置有凹槽结构；输气管左侧和右侧各开设有一个前后贯穿的通气槽结构；两个通气槽上各开设有若干个接通输气管凹槽的喷气孔结构；两个供气管上各转动连接有一个第一支管；两个第一支管上各固接有一个主直齿轮；两个主直齿轮各连接一个传动组件；两个第一支管之间接通有输液管；输液管的下侧接通有若干个喷液口；两个第一支管各通过一个导液管共同接通供液管。

进一步的是，输液管设置为上下两侧为弧边、左右两侧为直边的管状结构。

进一步的是，输气管的中部凹槽设置为与输液管的上侧弧边相适应的圆弧结构。

进一步的是，传动组件包括有侧滑块、电动推杆和主齿板；供气管上滑动连接有一个侧滑块；供气管的左侧固接有电动推杆；电动推杆的伸缩端固接侧滑块；侧滑块的下侧固接有若干个主齿板；每个主齿板各与一个主直齿轮相啮合。