[发明专利]一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架

权利要求书

1.一种蚀刻喷淋架，包括有：

固定架(12)、升降气缸(3)和固定框(4)；固定架(12)的四个边角各固接有一个升降气缸(3)；四个升降气缸(3)的伸缩端之间固接有固定框(4)；其特征是：还包括有供气管(5)、供液管(6)、喷淋组件、传动组件、副管道(7)和吸液组件；

固定框(4)的前侧和后侧各固接有一个供气管(5)；两个供气管(5)上各接通有若干个进气管(51)；两个供气管(5)的左侧和右侧各固接有一个顶架(52)；每左右两个顶架(52)之间各共同固接有一个供液管(6)；两个供液管(6)上各接通有一个进液管(61)；两个供气管(5)之间连接有若干个在气流引导下喷淋朝向一致的喷淋组件；所有喷淋组件分别通过一个导液管(62)共同连接供液管(6)；两个供气管(5)的相背侧各连接有一个统一调控喷淋组件喷淋朝向的传动组件；固定框(4)的前端和后端各固接有一个副管道(7)；两个副管道(7)上各接通有若干个抽吸管(71)；两个副管道(7)之间连接有若干个吸除蚀刻液的吸液组件，吸液组件的数量比喷淋组件的数量多一个，并且吸液组件与喷淋组件之间以间隔式相互交替排列；所有吸液组件均连接两个供气管(5)。

2.按照权利要求1所述的一种蚀刻喷淋架，其特征是：喷淋组件包括有输气管(81)、第一支管(82)、主直齿轮(83)、输液管(84)和喷液口(85)；两个供气管(5)之间接通有输气管(81)；输气管(81)的中部设置有凹槽结构；输气管(81)左侧和右侧各开设有一个前后贯穿的通气槽(811)结构；两个通气槽(811)上各开设有若干个接通输气管(81)凹槽的喷气孔(812)结构；两个供气管(5)上各转动连接有一个第一支管(82)；两个第一支管(82)上各固接有一个主直齿轮(83)；两个主直齿轮(83)各连接一个传动组件；两个第一支管(82)之间接通有输液管(84)；输液管(84)的下侧接通有若干个喷液口(85)；两个第一支管(82)各通过一个导液管(62)共同接通供液管(6)。

3.按照权利要求2所述的一种蚀刻喷淋架，其特征是：输液管(84)设置为上下两侧为弧边、左右两侧为直边的管状结构。

4.按照权利要求3所述的一种蚀刻喷淋架，其特征是：输气管(81)的中部凹槽设置为与输液管(84)的上侧弧边相适应的圆弧结构。

5.按照权利要求2所述的一种蚀刻喷淋架，其特征是：传动组件包括有侧滑块(101)、电动推杆(102)和主齿板(103)；供气管(5)上滑动连接有一个侧滑块(101)；供气管(5)的左侧固接有电动推杆(102)；电动推杆(102)的伸缩端固接侧滑块(101)；侧滑块(101)的下侧固接有若干个主齿板(103)；

每个主齿板(103)各与一个主直齿轮(83)相啮合。

6.按照权利要求1所述的一种蚀刻喷淋架，其特征是：吸液组件包括有第二支管(91)、副直齿轮(92)、吸液管(93)和滚刷(94)；两个供气管(5)上各转动连接有一个第二支管(91)；两个第二支管(91)上各固接有一个副直齿轮(92)；两个第二支管(91)的外端各转动连接一个副管道(7)；两个第二支管(91)之间接通有吸液管(93)；吸液管(93)的外表面套设有滚刷(94)。

7.按照权利要求6所述的一种蚀刻喷淋架，其特征是：环绕吸液管(93)开设有若干个吸液孔。

8.一种精密蚀刻装置，安装有权利要求1-7任意一项所述的一种蚀刻喷淋架，其特征是：一种精密蚀刻装置包括有主支架(11)、传送机构和副齿板(23)；

固定架(12)固接在主支架(11)上；主支架(11)的左侧连接有传送机构；传送机构的前侧和后侧各连接有一个传动副直齿轮(92)的副齿板(23)。