[发明专利]一种碳化硅的制备方法和制备装置在审
| 申请号： | 202211269375.9 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN115893419A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 张文忠;浩瀚;赵新田;罗烨栋;周勋;洪志伟;黄世玺;瞿勇杰;祝真旺 | 申请（专利权）人： | 宁波合盛新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/984 | 分类号： | C01B32/984 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 申素霞 |
| 地址： | 315300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碳化硅的制备方法和制备装置，属于半导体材料制备技术领域。本发明通过在石墨坩埚中增加石墨柱，不仅可以缩短混合原料的径向距离达到缩小温度梯度目的，而且可以很好的将石墨坩埚底部的热量传递到混合原料的芯部，减少混合原料径向温度梯度和轴向温度梯度；本发明通过支撑部件带动热场以及石墨坩埚旋转，能够避免热场材料和热场缠制带来的温度偏析，有利于提高石墨坩埚内混合原料温度的均匀性；本发明通过对感应线圈位进行往复提拉，可以将石墨坩埚内部的高温区随着感应线圈的提拉来进行控制，有利于进一步提高石墨坩埚内混合原料温度的均匀性。因此，采用本发明提供的方法制备的碳化硅产品质量一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
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