[发明专利]一种陶瓷坯体快速排PVB胶的方法在审
| 申请号： | 202211268033.5 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN115321993A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 葛荘;贺贤汉;崔梦德;王斌;丁颖颖 | 申请（专利权）人： | 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/638 | 分类号： | C04B35/638;C04B41/87 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种陶瓷坯体快速排PVB胶的方法，涉及半导体加工，旨在解决目前排胶工艺不彻底的问题，其技术方案要点是：S1）坯体预压；S2）生坯敷粉、堆叠；S3）微波排胶：将坯体放入微波排胶炉中，抽真空至‑0.095MPa，以25mA/min的入射功率梯度持续增加烧结功率，使内部贴片电子元件坯料以10℃/min～40℃/min的升温速率升温至400℃，然后在400℃保温4h，进行排胶处理；S4）空气排胶：通入预热空气，同时通过短波红外光加热，以5℃/min升温速率，升温至450℃后，以0.4℃/min‑0.6℃/min的升温速率每升温50℃‑60℃保温20min‑60min，升温至600℃；S5）降温排胶：将温度从600℃逐步降温至200℃，降温速度为2℃/min。本发明的一种陶瓷坯体快速排PVB胶的方法，排胶彻底且时间短。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 快速 pvb 方法 | ||
【主权项】：
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