[发明专利]高可靠性功率器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202211265981.3 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN115548121A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 许龙来;王荣华;章文红;梁凯 | 申请（专利权）人： | 无锡美偌科微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/423;H01L21/336 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 过顾佳 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高可靠性功率器件及其制备方法。其包括：衬底；对任一元胞，在每个元胞沟槽的两侧均制备第二导电类型基区以及基于ballast结构的源极接触孔连接结构；源极接触孔连接结构，包括第一导电类型源区、接触孔以及第二导电类型接触区，第二导电类型接触区位于第二导电类型基区内，在第二导电类型接触区与第一导电类型源区结合部相对应的接触孔侧壁设置第二导电类型接触补偿部；源极金属填充于源极接触孔连接结构内的接触孔内后，补偿基于ballast结构中源极金属与第二导电类型接触区的欧姆接触面积。本发明对形成的ballast结构，能提高反向耐压时的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠性 功率 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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