[发明专利]基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备在审
| 申请号： | 202211257231.1 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN116061200A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 吴振浩;崔相赞;李政远 | 申请（专利权）人： | 乐恩科技株式会社 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李银花;徐丹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备。该晶片传递机器人设备包括：手部模块，其包括从一个表面装载晶片的手部以及联接到手部以传递晶片的手臂；R轴模块，其包括中心轴、旋转马达构件、固定马达构件、以及圆柱形真空阻挡薄膜，并且该R轴模块通过旋转马达构件向手部模块提供动力；连接外壳模块，其一端联接到R轴模块；以及T轴模块，其包括可旋转地联接到连接外壳模块的另一端的中心旋转轴、封闭中心旋转轴的外部的磁流体密封件、以及沿着中心旋转轴的下部外周边设置以向中心旋转轴提供旋转力的马达。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 直接 驱动 马达 晶片 传递 机器人 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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