[发明专利]基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备

权利要求书

1.一种基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备，所述晶片传递机器人设备包括：

手部模块，所述手部模块包括从一个表面装载晶片的手部和联接到所述手部以传递所述晶片的手臂；

R轴模块，所述R轴模块包括一端联接到所述手臂的中心轴、沿所述中心轴的外周边联接的旋转马达构件、固定到所述旋转马达构件的外周边的固定马达构件、以及设置在所述旋转马达构件与所述固定马达构件之间以将所述R轴模块的内部隔离成真空的圆柱形真空阻挡薄膜，并且所述R轴模块通过所述旋转马达构件向所述手部模块提供动力；

连接外壳模块，所述连接外壳模块的一端联接到所述R轴模块；以及

T轴模块，所述T轴模块包括以能够旋转的方式联接到所述连接外壳模块的另一端的中心旋转轴、封闭所述中心旋转轴的外部的磁流体密封件、以及沿着所述中心旋转轴的下部外周边设置以向所述中心旋转轴提供旋转力的马达。

2.根据权利要求1所述的晶片传递机器人设备，其中，所述手部模块包括：

第一连杆臂和第二连杆臂；以及

辅助中心轴，所述辅助中心轴通过所述第一连杆臂联接所述中心轴的一端并且通过所述第二连杆臂联接所述手臂，以向所述手臂提供所述中心轴的旋转力。

3.根据权利要求1所述的晶片传递机器人设备，其中，所述R轴模块通过所述旋转马达构件和所述固定马达构件实现所述直接驱动马达，并且通过并排布置多个所述直接驱动马达向所述手部模块提供动力。

4.根据权利要求1所述的晶片传递机器人设备，其中，所述R轴模块包括：

旋转侧编码器，所述旋转侧编码器联接到所述中心轴的另一端；

固定侧编码器，所述固定侧编码器设置成面向所述旋转侧编码器；以及

片型真空阻挡薄膜，所述片型真空阻挡薄膜设置在所述旋转侧编码器与所述固定侧编码器之间。

5.根据权利要求1所述的晶片传递机器人设备，其中，所述T轴模块包括外壳，所述外壳包括圆形支撑板，所述圆形支撑板从周边突出以支撑所述连接外壳模块，并且所述T轴模块通过所述周边封闭所述磁流体密封件。

6.根据权利要求1所述的晶片传递机器人设备，其中，所述T轴模块包括空气通孔，所述空气通孔在所述中心旋转轴内部形成空气。

7.根据权利要求6所述的晶片传递机器人设备，其中，所述T轴模块将所述空气通孔延伸到所述马达的中心，并且将所述马达构造为具有设置在所述下部外周边内部的下部旋转马达构件和设置在所述下部外周边外部的下部固定马达构件的所述直接驱动马达。

8.根据权利要求1所述的晶片传递机器人设备，其中，所述R轴模块和所述T轴模块彼此独立地被驱动，所述T轴模块操作以旋转所述R轴模块来设定所述手部的方向，并且所述R轴模块操作以执行所述手部的前后运动。