[发明专利]基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备

说明书

本公开涉及一种基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备。该晶片传递机器人设备包括：手部模块，其包括从一个表面装载晶片的手部以及联接到手部以传递晶片的手臂；R轴模块，其包括中心轴、旋转马达构件、固定马达构件、以及圆柱形真空阻挡薄膜，并且该R轴模块通过旋转马达构件向手部模块提供动力；连接外壳模块，其一端联接到R轴模块；以及T轴模块，其包括可旋转地联接到连接外壳模块的另一端的中心旋转轴、封闭中心旋转轴的外部的磁流体密封件、以及沿着中心旋转轴的下部外周边设置以向中心旋转轴提供旋转力的马达。

技术领域

本公开涉及晶片传递机器人技术，更具体地，涉及基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备，该晶片传递机器人设备能够简化晶片传递机器人的驱动部件并改善整体振动和精度。

背景技术

随着半导体技术的进步，半导体工艺中所需的晶片传递机器人的规格已经升级。

在现有的晶片传递机器人中，传递机器人的臂或连杆以同轴方式构造，以使得能够使用多个马达进行例如三个或更多个自由度的移动。最外轴联接到轮毂以便例如围绕中心旋转轴旋转多个臂，并且两个内轴可以经由独立的带和带轮构造连接到多个臂中的每一个。

为了将两个手部安装在过去使用的晶片传递机器人的臂上，臂被加长或者上臂和下臂被上下地设置。然而，在这种构造的情况下，随着臂的长度增大，结构刚度降低，因此，传递操作的精度降低。

当臂的刚度增加以提高精度时，臂的重量增大或者传递机器人的尺寸增大，这导致安装困难。

[相关技术文献]

[专利文献]

(专利文献0001)韩国专利No.10-1382145(2014年04月01日)

发明内容

本公开提供一种基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备，该晶片传递机器人设备能够简化晶片传递机器人的驱动部件并改善整体振动和精度。

本公开提供一种基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备，该晶片传递机器人设备能够减小晶片传递机器人的R轴驱动模块和T轴驱动模块的重量和体积，并且通过使用直接驱动马达而降低成本。

本公开提供一种基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备，该晶片传递机器人设备能够通过将直接驱动马达的一部分和编码器设置在真空环境中并用真空阻挡薄膜划分真空和空气环境来最小化用于维持真空的空间。

根据本公开的实施方式，基于直接驱动马达的晶片传递机器人设备包括：手部模块，所述手部模块包括从一个表面装载晶片的手部和联接到所述手部以传递所述晶片的手臂；R轴模块，所述R轴模块包括一端联接到所述手臂的中心轴、沿所述中心轴的外周边联接的旋转马达构件、固定到所述旋转马达构件的外周边的固定马达构件、以及设置在所述旋转马达构件与所述固定马达构件之间以将所述R轴模块的内部隔离成真空的圆柱形真空阻挡薄膜，并且所述R轴模块通过所述旋转马达构件向所述手部模块提供动力；连接外壳模块，所述连接外壳模块的一端联接到所述R轴模块；以及T轴模块，所述T轴模块包括以可旋转的方式联接到所述连接外壳模块的另一端的中心旋转轴、封闭所述中心旋转轴的外部的磁流体密封件、以及沿着所述中心旋转轴的下部外周边设置以向所述中心旋转轴提供旋转力的马达。

所述手部模块可以包括：第一连杆臂和第二连杆臂；以及辅助中心轴，所述辅助中心轴通过所述第一连杆臂联接所述中心轴的一端并且通过所述第二连杆臂联接所述手臂，以向所述手臂提供所述中心轴的旋转力。

所述R轴模块可以通过所述旋转马达构件和所述固定马达构件实现所述直接驱动马达，并且通过并排布置多个所述直接驱动马达向所述手部模块提供动力。

所述R轴模块可以包括：旋转侧编码器，所述旋转侧编码器联接到所述中心轴的另一端；固定侧编码器，所述固定侧编码器设置成面向所述旋转侧编码器；以及片型真空阻挡薄膜，所述片型真空阻挡薄膜设置在所述旋转侧编码器与所述固定侧编码器之间。