[发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202211257100.3 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN116026833A | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 北邨益飞 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01;G01N29/34 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检测装置及缺陷检测方法，无需用户针对每一频率进行设定操作的时间精力便可执行测定。缺陷检测装置(1)包括：激振部(11、12)，通过依次对被检查物体(S)赋予具有相互不同的频率的多种振动而对所述被检查物体(S)激发弹性波；照明部(13、14)，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及位移测定部(15)，针对所述多种振动各者，通过对所述弹性波的相位与所述频闪照明的时机进行控制，使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位下所述测定区域各点的所述表面的面外方向的位移进行统一测定。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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