[发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：

激振部，通过依次对被检查物体赋予具有相互不同的频率的多种振动而对所述被检查物体激发弹性波；

照明部，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及

位移测定部，针对所述多种振动各者，通过对所述弹性波的相位与所述频闪照明的时机进行控制，使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位下所述测定区域各点的所述表面的面外方向的位移进行统一测定。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其中，所述多种振动各自的频率是由单一的等比数列中的多个项规定的值。

3.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其中，所述激振部在对所述被检查物体赋予所述多种振动之前，依次对所述被检查物体赋予种类比所述多种振动多的、频率相互不同的预备测定振动，

所述缺陷检测装置还包括频率选择部，所述频率选择部基于多种预备测定振动各者下的所述被检查物体的振动状态，从所述多种预备测定振动的频率中选择所述多种振动的频率。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的缺陷检测装置，其中，还包括：

图像制作部，基于在所述多个频率各者下所述至少三个相位下的测定区域各点的面外方向的位移，制作表示所述测定区域内的所述位移的分布的图像；以及

显示部，显示在所述多个频率各者下制作的所述图像。

5.根据权利要求4所述的缺陷检测装置，其中，所述显示部一并显示在所述多个频率各者下制作的图像以及将在所述多个频率各者下制作的图像重叠后的一个图像，或显示将在所述多个频率各者下制作的图像重叠后的一个图像来代替在所述多个频率各者下制作的图像。

6.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括：

频率设定工序，设定相互不同的多个频率；

激振工序，通过对被检查物体赋予具有所述多个频率中的一个频率的振动而对所述被检查物体激发弹性波；

照明工序，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及

位移测定工序，通过对所述弹性波的相位与所述频闪照明的时机进行控制，使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位下所述测定区域各点的所述表面的面外方向的位移进行统一测定，

在执行所述频率设定工序之后，针对所述多个频率各者依次执行所述激振工序、所述照明工序及所述位移测定工序。