[发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法

说明书

本发明提供一种缺陷检测装置及缺陷检测方法，无需用户针对每一频率进行设定操作的时间精力便可执行测定。缺陷检测装置(1)包括：激振部(11、12)，通过依次对被检查物体(S)赋予具有相互不同的频率的多种振动而对所述被检查物体(S)激发弹性波；照明部(13、14)，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及位移测定部(15)，针对所述多种振动各者，通过对所述弹性波的相位与所述频闪照明的时机进行控制，使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位下所述测定区域各点的所述表面的面外方向的位移进行统一测定。

技术领域

本发明涉及一种缺陷检测装置及缺陷检测方法。

背景技术

对混凝土或钢铁结构等被检测物体的表面或内部存在的缺陷进行检测的方法之一有使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法的方法。此处，散斑干涉法是使来自激光光源的激光分支为照明光与参照光，使用照明光对被检查物体的表面进行频闪照明，获得由照明光在所述表面的各点反射的光与参照光所形成的干涉图案。散斑剪切干涉法使用来自激光光源的激光(不使用参照光)对被检查物体的表面进行频闪照明，获得由从所述表面上邻近的两点反射来的光所形成的干涉图案。

在专利文献1所记载的缺陷检测装置中，通过对被检查物体赋予振动而输入弹性波，利用电荷耦合器件(Charge-Coupled Device，CCD)照相机等对在输入所述弹性波之前及之后分别利用散斑干涉法或散斑剪切干涉法获得的干涉图案的图像进行拍摄，并根据这两张图像算出被检查物体的表面的前后方向(面外方向)的位移或相对位移的分布。由于在被检查物体的表面或内部存在缺陷的部位，位移或相对位移变得不连续，因此可检测出所述缺陷。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2017-219318号公报

[专利文献2]国际公开WO2021/145034号

发明内容

[发明所要解决的问题]

对于对被检查物体赋予的振动，为了增大振幅以提高信噪(Signal/Noise，S/N)比，优选频率低(波长长)，与此相对，在检测小的缺陷这一点上，优选频率高(波长短)。因此，适当的振动的频率根据缺陷的大小而不同，但由于在测定前缺陷的大小不明，因此无法在测定前决定此种适当的频率。因此，在以往的缺陷检测装置中，以多个频率分别获取干涉图案的图像，用户从这些图像中选择最佳的图像。此时，每次变更频率时用户必须进行频率的设定操作，需要时间精力。

本发明要解决问题在于提供一种无需用户针对每一频率进行设定操作的时间精力便可执行测定的缺陷检测装置及方法。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述问题而成的本发明的缺陷检测装置包括：

激振部，通过依次对被检查物体赋予具有相互不同的频率的多种振动而对所述被检查物体激发弹性波；

照明部，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及

位移测定部，针对所述多种振动各者，通过对所述弹性波的相位与所述频闪照明的时机进行控制，使用散斑干涉法或散斑剪切干涉法对在所述弹性波的相互不同的至少三个相位下所述测定区域各点的所述表面的面外方向的位移进行统一测定。

本发明的缺陷检测方法包括：

频率设定工序，设定相互不同的多个频率；

激振工序，通过对被检查物体赋予具有所述多个频率中的一个频率的振动而对所述被检查物体激发弹性波；

照明工序，对所述被检查物体的表面的测定区域进行频闪照明；以及