[发明专利]一种磷扩散源及其制备方法在审
| 申请号： | 202211252873.2 | 申请日： | 2022-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN115573038A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 于朴凡;董艺萌;杨长青;王连旺;孟宪冬 | 申请（专利权）人： | 北京化学试剂研究所有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B31/04 | 分类号： | C30B31/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102600 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及微电子行业领域，具体公开了一种磷扩散源及其制备方法。所述磷扩散源按照重量百分比计，包括硅酸酯15‑45%，水2‑8%，酸类0.01‑1%，低碳醇25‑50%，醚类溶剂15‑45%，磷源5‑20%。所得磷扩散源具有较高的扩散均匀性，将所得磷扩散源用于硅片中，硅片的方块电阻在1.52‑1.74Ω/口之间，PN结深在5.0‑5.7μm之间；同时所得磷扩散源具有较长的保质期，储存时间高达12个月；12个月时磷扩散源的粘度小于2.3cp，颗粒≥0.5μm的数量在56个/mL以下，颗粒≥1.0μm的数量在2.7个/mL以下，颗粒≥5.0μm的数量在1.9个/mL以下。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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