[发明专利]一种磷扩散源及其制备方法

权利要求书

1.一种磷扩散源，其特征在于，按照重量百分比计，包括硅酸酯15-45%，水2-8%，酸类0.01-1%，低碳醇25-50%，醚类溶剂15-45%，磷源5-20%。

2.根据权利要求1所述磷扩散源，其特征在于，按照重量百分比计，所述硅酸酯为15-35%，所述水为2-5%，所述酸类为0.01-0.1%，所述低碳醇为25-35%，所述醚类溶剂为15-35%，所述磷源为5-15%。

3.根据权利要求1所述磷扩散源，其特征在于，按照重量百分比计，所述硅酸酯为19.68%，所述水为2.92%，所述酸类为0.03%，所述低碳醇为32.3%，所述醚类溶剂为32.96%，所述磷源为12.11%。

4.根据权利要求1-3任一项所述磷扩散源，其特征在于，所述酸类为盐酸、乙酸或硫酸；

优选地，所述酸类为盐酸。

5.根据权利要求1-3任一项所述磷扩散源，其特征在于，所述硅酸酯为正硅酸甲酯，正硅酸四乙酯或正硅酸二乙酯；

优选地，所述硅酸酯为正硅酸四乙酯。

6.根据权利要求1-3任一项所述磷扩散源，其特征在于，所述醚类溶剂选自乙二醇独甲醚和乙二醇乙醚；

优选地，所述醚类溶剂为乙二醇独甲醚。

7.根据权利要求1-3任一项所述磷扩散源，其特征在于，所述磷源选自五氧化二磷，磷酸铵，磷酸氢二铵和磷酸二氢铵；

优选地，所述磷源为五氧化二磷。

8.根据权利要求1-3任一项所述磷扩散源，其特征在于，所述低碳醇选自甲醇，乙醇，异丙醇和丁醇；

优选地，所述低碳醇为乙醇。

9.根据权利要求1-3任一项所述磷扩散源，其特征在于，所述磷扩散源的保质期为12个月以上。

10.一种如权利要求1-9任一项所述磷扩散源的制备方法，其特征在于，包括以下步骤，

（1）将所述醚类溶剂和所述磷源进行混合，制得A基液；

（2）将所述硅酸酯、所述水和所述低碳醇进行混合，滴加所述酸类，制得B基液；

（3）再将所述A基液和所述B基液按照重量比为1 :（1-1.1）进行混合，压力过滤后，制得磷扩散源。