[发明专利]基于图像增强的晶圆缺陷检测方法有效
| 申请号： | 202211243782.2 | 申请日： | 2022-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN115311282B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 郑俊泽 | 申请（专利权）人： | 南通迪博西电子有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/13;G06T5/00;G06T5/40 |
| 代理公司： | 广州海藻专利代理事务所(普通合伙) 44386 | 代理人： | 郑凤姣 |
| 地址： | 226000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及数据处理技术领域，具体涉及基于图像增强的晶圆缺陷检测方法，包括：采集晶圆图像，对晶圆图像进行分块，获取每个分块图像的梯度幅值直方图；根据分块图像的梯度幅值直方图中最大的梯度幅值获取压缩上限值，对梯度幅值进行等比压缩，获得压缩梯度幅值直方图；对压缩梯度幅值直方图进行分段，获取每个片段的概率密度以及平均梯度，进一步获取每个片段的增强权重。根据压缩梯度幅值直方图获取期望和标准差，结合每个片段的增强权重进一步获得分块图像的增强函数，利用增强函数对分块图像进行增强。本发明可实现晶圆图像边缘部分的重点增强，同时可避免现有技术中目标梯度场退化的问题，使得晶圆缺陷识别更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 图像 增强 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
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