[发明专利]一种静电梳驱动的MEMS微镜制备方法及MEMS微镜、光谱仪在审
| 申请号： | 202211229261.1 | 申请日： | 2022-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN115477278A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 张莉;陈庆华;左昌余;刘琼;陈玉华;胡衍雷;吴东 | 申请（专利权）人： | 安徽自贸区天地人车大数据科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02;G02B26/08 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 杜安杰 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电梳驱动的MEMS微镜制备方法及MEMS微镜、光谱仪，本发明利用半导体制造技术加工MEMS微镜，可以提高微镜的扭转角度，实现更大视场角光信号采集，另外将传统微型光谱仪的光栅和转动微镜结合，在不影响光束分布的前提下简化了光路，因此能量损失减小，采用动梳齿电极位于光栅镜面两侧的设计结构，配合两侧相对绝缘的静梳齿电极，让光栅镜面能够朝向两侧进行偏转，让偏转的角度更大，第一硅晶圆和第二硅晶圆为整体式的结构，只需要对第一硅晶圆和第二硅晶圆进行刻蚀加工即可，具有更加简单的加工工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 驱动 mems 制备 方法 微镜 光谱仪 | ||
【主权项】：
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