[发明专利]太赫兹波探测器及太赫兹波的探测方法在审

专利信息
申请号: 202211219993.2 申请日: 2022-09-30
公开(公告)号: CN115632083A 公开(公告)日: 2023-01-20
发明(设计)人: 秦华;屠睿;周奇;靳琳 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: H01L31/112 分类号: H01L31/112;H01L31/0224;G01J1/42
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 赵世发
地址: 215123 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种太赫兹波探测器及太赫兹波的探测方法。所述太赫兹波探测器包括半导体结构、第一电极、第二电极、第一欧姆接触结构、第二欧姆接触结构、第一天线和第二天线:所述第一天线和第二天线间隔设置在所述半导体结构上,并均与所述半导体结构形成肖特基接触;所述第一欧姆接触结构、第二欧姆接触结构分别对应设置在所述第一天线、第二天线与半导体结构之间,所述第一欧姆接触结构及第二欧姆接触结构均与半导体结构形成欧姆接触且分别与第一天线、第二天线电连接,所述第一电极、第二电极分别与第一天线、第二天线配合。本发明提供的太赫兹波的探测方法,采用偏压工作模式进行太赫兹波的探测,偏压工作模式增加了器件的稳定性。
搜索关键词: 赫兹 探测器 探测 方法
【主权项】:
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