[发明专利]一种单载流子输运的平衡探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种单载流子输运的平衡探测器及其制备方法，涉及光电探测器技术领域，本发明的探测器的吸收层最终为P型In0.53Ga0.47As吸收层，空穴在光吸收层中为多数载流子，光生空穴的产生速度为其介质弛豫速度，在飞秒量级，可以忽略。光生电子在P型In0.53Ga0.47As吸收层中通过扩散和漂移运动至n型InP漂移层。在本发明的探测器中，只有电子一种载流子控制实际的输运速度。相比于传统的PIN型平衡探测器，本发明的平衡探测器不受制于速度较慢的空穴，因此，其响应速度大幅度提高。