[发明专利]一种气体注入机构及气相反应装置

摘要

本发明提供一种气体注入机构及气相反应装置，该气体注入机构包括位于中间区域用于输送第一气体的第一气体注入机构，以及位于外围区域环绕第一气体注入机构用于输送第二气体的第二气体注入机构，第二气体注入机构包括若干第二气体输送通道，至少部分第二气体输送通道为旋转气流通道，沿着旋转气流通道喷出的气流的速度包括轴向分量和切向分量，并且切向分量与轴向分量的比例大于0，因此形成旋转气流，并且旋转气流的旋转方向与承载盘在反应过程中的旋转方向一致，所述旋转气流的速度的切向分量的存在使得反应腔室内的流场在边缘区域的流动撞击混合及流线转向过程更平稳，由此抑制或完全消除反应腔室内涡流的产生。