[发明专利]树脂及其制备方法、光刻胶、光刻方法在审
| 申请号： | 202211205441.6 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115521392A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 王辉;廖辉华;宋智辉;康报虹 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | C08F8/00 | 分类号： | C08F8/00;C08F20/00;C08G77/38;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 杨岩 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了树脂及其制备方法、光刻胶、光刻方法。树脂应用于光刻胶，树脂包括多个单体单元，多个单体单元的至少部分包括至少一个含有羧基的基团；其中，树脂包括丙烯酸型聚合物与硅氧烷型聚合物中的至少一种。本申请通过使树脂的单体单元包括含有羧基的基团，既使其制备的光刻胶更容易溶解于显影液，又使打开氮氮双键的能量减小，从而减小光刻胶需要的曝光能量，减少曝光时间，进而提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 及其 制备 方法 光刻 | ||
【主权项】：
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