[发明专利]模块化超高真空电子显微镜在审
| 申请号： | 202211201399.0 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115881502A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | R·格林克;H·C·范列文 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/18;H01J37/26;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 史婧;张一舟 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本公开，一种用于研究样品的模块化超高真空（UHV）电子显微镜包括：UHV室，所述UHV室被配置成在UHV室内达到并维持超高真空；UHV工作台，所述UHV工作台保持被研究的所述样品；带电粒子源，所述带电粒子源被配置成朝向所述样品发射电子束；以及光学柱，所述光学柱被配置成引导多个电子入射到所述样品上。所述模块化UHV电子显微镜进一步包括转盘真空隔室，所述转盘真空隔室被配置成独立于所述UHV室达到并维持UHV，并且所述转盘真空隔室经由端口连接到所述UHV室并容纳至少一个装置操纵器。所述装置操纵器中的每一个包含用于显微镜装置的附接位点，并且被配置成经由阀在所述转盘真空隔室和所述UHV室之间选择性地平移所附接的显微镜装置。 | ||
| 搜索关键词： | 模块化 超高 真空 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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