[发明专利]一种具有注入效率改善层结构的深紫外LED及其制备方法在审
申请号: | 202211163065.9 | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN115498084A | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 张骏;张毅;岳金顺;陈景文 | 申请(专利权)人: | 苏州紫灿科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/04;H01L33/06;H01L33/00 |
代理公司: | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人: | 李锡义 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开一种具有注入效率改善层结构的深紫外LED及其制备方法,该深紫外LED包括依次层叠布置的蓝宝石衬底、AlN本征层、n型AlGaN电子注入层、电流扩展层、量子阱有源层、第一载流子注入效率改善层、第二载流子注入效率改善层、电子阻挡层、p型AlGaN空穴注入层和p型GaN接触层,第一载流子注入效率改善层为由若干Al |
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搜索关键词: | 一种 具有 注入 效率 改善 结构 深紫 led 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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