[发明专利]一种PVD镀膜方法在审
申请号: | 202211147777.1 | 申请日: | 2022-09-21 |
公开(公告)号: | CN115466923A | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 金浩星;朱喆;赵凤松;郭庆彬;张彦峰;闫小瑞 | 申请(专利权)人: | 深圳市和胜金属技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/50;C23C14/58 |
代理公司: | 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) 44526 | 代理人: | 李捷 |
地址: | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种PVD镀膜方法,其包括以下步骤:S1:第一次清洁工件;S2:将S1中的工件送入HKS‑G设备内,工件与HKS‑G设备内的PVD镀膜夹具连接;S3:HKS‑G设备加热工件;S4:第二次清洁工件,第二次清洁工件用于去除工件表面氧化物;S5:将S4中去除表面氧化物后的工件进行镀膜;S6:将S5中镀膜后的工件进行预冷;S7:将S6中预冷后的工件从HKS‑G设备取出,然后将工件进行抛光,从而得到工件成品。整体步骤既能对工件进行镀膜加工,还提升了工件的光洁度;使得工件表面成膜更均匀、更稳定,提升了工件镀膜的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 pvd 镀膜 方法 | ||
【主权项】:
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