[发明专利]一种太阳能电池片铜电极的制作方法及设备在审
| 申请号： | 202211144088.5 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115494704A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 张弩 | 申请（专利权）人： | 江苏戴米克自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 唐灵 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池片铜电极的制作方法及设备。本发明通过振镜与场镜的组合，采用激光束扫描的方式对光阻油墨进行曝光并显影制备电极图案，无需使用掩膜，电极图案的设计可通过调控振镜控制器实现。且与传统的使用激光束切割的方式相比，本发明的方案无需使用大功率激光器即可实现曝光效果。采用分光同动方式制备可一次实现多个样品的制备，且每个样品设置有单独的第二样品台放置，可在对位阶段，通过调节第二样品台可实现对位于第一样品台上的多个样品的位置和角度实现单独调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 电极 制作方法 设备 | ||
【主权项】：
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