[发明专利]一种太阳能电池片铜电极的制作方法及设备

权利要求书

1.一种太阳能电池片铜电极的制作方法，其特征在于：包括：

S101：电镀种子层：提供经过制绒、双面分别沉积本征层、掺杂层和ITO层工艺之后的硅基板，在硅基板表面电镀铜金属种子层；

S102：印刷光阻油墨：在所述铜金属种子层表面印刷所述光阻油墨；

S103：曝光：依预先设计好的电极图案，采用紫外激光束利用激光扫描的方式对所述光阻油墨进行曝光；

S104：显影：将曝光后的太阳能电池浸入显影液中显影，形成所述电极图案；

S105：电镀铜：在所述电极图案处通过电镀的工艺制备铜电极；

S106：剥膜：将剩余所述光阻油墨剥离；

S107：微蚀铜：将非线路设计区域的所述铜金属种子层用低浓度的酸腐蚀。

2.如权利要求1所述的太阳能电池片铜电极的制作方法，其特征在于：光阻油墨厚度为10-20μm。

3.如权利要求1所述的太阳能电池片铜电极的制作方法，其特征在于：光阻油墨选用正型光阻油墨或负型光阻油墨。

4.一种太阳能电池片铜电极的制作设备，其特征在于：用于实现如权利要求1-3任意一项所述的太阳能电池片铜电极的制作方法，包括：

上料区，设置有一放料机和第一样品台，所述第一样品台表面设置有发光面板，样品通过所述放料机放置在第一样品台上；

对位区，设置有相机和矫正机构，使用所述相机采集所述样品的边缘位置，通过所述矫正机构对所述样品的位置以及角度进行调整；

曝光区，设置有曝光设备，对对位完成后的样品进行曝光；

出料区，设置有一出料机，可将曝光完成后的样品一次取出。

5.如权利要求4所述的太阳能电池片铜电极的制作设备，其特征在于：所述曝光设备包括：

激光源，出射所述紫外激光束；

振镜场镜组，包括振镜扫描系统和场镜，

所述振镜扫描系统包括振镜和振镜控制器，所述紫外激光束被所述振镜反射，所述振镜在所述振镜控制器的控制下高速的来回延轴旋转，从而使得所述紫外激光束按所述电极图案路线运动；

所述场镜，将所述紫外激光束聚焦。

6.如权利要求5所述的太阳能电池片铜电极的制作设备，其特征在于：所述曝光设备可采用分光同动和/或异光同动的方式进行曝光。

7.如权利要求5所述的太阳能电池片铜电极的制作设备，其特征在于：还包括一用户系统，用于控制所述激光器，所述振镜控制器和所述矫正机构。

8.如权利要求4所述的太阳能电池片铜电极的制作设备，其特征在于：还包括第二样品台，所述样品放置于第二样品台上，且所述第二样品台与所述样品间放置有防刮台面纸。

9.如权利要求5所述的太阳能电池片铜电极的制作设备，其特征在于：采用多个所述第一样品台，依次轮流经过所述上料区、所述对位区、所述曝光区、所述出料区，可实现四个区域同时工作。