[发明专利]涂布机及利用其对基片进行涂布的方法在审
| 申请号: | 202211139000.0 | 申请日: | 2022-09-19 |
| 公开(公告)号: | CN115350877A | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
| 发明(设计)人: | 吴迎港;张健;常洲;李斌 | 申请(专利权)人: | 无锡极电光能科技有限公司 |
| 主分类号: | B05C11/04 | 分类号: | B05C11/04;B05C11/02;B05C13/02;H01L51/48 |
| 代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 顾鲜红 |
| 地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开了涂布机及利用其对基片进行涂布的方法。所述涂布机包括:基座;承载台,所述承载台设置在所述基座上,用于承载并固定待涂布的基片;刮涂组件,所述刮涂组件设置在所述承载台远离所述基座的一侧,所述刮涂组件用于与所述承载台发生相对旋转时,对所述基片进行涂布。由此,通过刮涂组件与承载台之间的相对旋转来完成对基片的涂布,可以实现涂布液的均匀涂布,得到更为均匀的膜层,从而改善相关技术中直线涂布可能导致的涂布液膜层不均的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 涂布机 利用 进行 方法 | ||
【主权项】:
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