[发明专利]涂布机及利用其对基片进行涂布的方法在审

专利信息
申请号: 202211139000.0 申请日: 2022-09-19
公开(公告)号: CN115350877A 公开(公告)日: 2022-11-18
发明(设计)人: 吴迎港;张健;常洲;李斌 申请(专利权)人: 无锡极电光能科技有限公司
主分类号: B05C11/04 分类号: B05C11/04;B05C11/02;B05C13/02;H01L51/48
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 顾鲜红
地址: 214000 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了涂布机及利用其对基片进行涂布的方法。所述涂布机包括:基座;承载台,所述承载台设置在所述基座上,用于承载并固定待涂布的基片;刮涂组件,所述刮涂组件设置在所述承载台远离所述基座的一侧,所述刮涂组件用于与所述承载台发生相对旋转时,对所述基片进行涂布。由此,通过刮涂组件与承载台之间的相对旋转来完成对基片的涂布,可以实现涂布液的均匀涂布,得到更为均匀的膜层,从而改善相关技术中直线涂布可能导致的涂布液膜层不均的问题。
搜索关键词: 涂布机 利用 进行 方法
【主权项】:
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