[发明专利]涂布机及利用其对基片进行涂布的方法

权利要求书

1.一种涂布机，其特征在于，包括：

基座；

承载台，所述承载台设置在所述基座上，用于承载并固定待涂布的基片；

刮涂组件，所述刮涂组件设置在所述承载台远离所述基座的一侧，所述刮涂组件用于与所述承载台发生相对旋转时，对所述基片进行涂布。

2.根据权利要求1所述的涂布机，其特征在于，所述承载台的形状为圆形、矩形或异形。

3.根据权利要求1所述的涂布机，其特征在于，所述承载台通过旋转轴设置在所述基座上，所述涂布机进一步包括高度调节螺栓，所述高度调节螺栓贯穿所述旋转轴，所述高度调节螺栓用于调整所述刮涂组件与所述承载台之间的间隙。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的涂布机，其特征在于，所述涂布机还包括真空泵，所述承载台具有多个吸附孔，利用所述真空泵和所述吸附孔将所述基片吸附固定在所述承载台的表面。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的涂布机，其特征在于，还包括圆形轨道，所述圆形轨道设置在所述基座上，且所述圆形轨道与所述刮涂组件的两端滑动连接。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的涂布机，其特征在于，满足以下条件中的至少之一：

所述刮涂组件为刮刀或刮棒；

所述承载台的最大长度为30cm-50cm。

7.一种利用权利要求1～6中任一项所述的涂布机对基片进行涂布的方法，其特征在于，包括：

将待涂布的基片固定在所述承载台远离所述基座的表面上；

调整刮涂组件与所述承载台之间的间隙；

沿所述刮涂组件滴加涂布液，使涂布液滴加在所述基片的一侧；

使所述刮涂组件与所述承载台相对旋转，以对所述基片进行涂布。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，使所述刮涂组件与所述承载台相对旋转包括：

使所述刮涂组件固定，使所述承载台相对所述基座和所述刮涂组件旋转；

或者，使所述承载台固定，使所述刮涂组件沿圆形轨道旋转。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，在完成涂布后，通过调节高度调节螺栓使刮涂组件与所述承载台之间的间隙变大，并对所述刮涂组件进行清洁处理。

10.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，满足以下条件中的至少之一：

所述间隙为50μm-500μm；

所述承载台或所述刮涂组件的转速为500r/min-6000r/min。