[发明专利]扫描电镜物镜在审
| 申请号： | 202211113845.2 | 申请日： | 2022-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN115497791A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 孙斌 | 申请（专利权）人： | 国仪量子（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 顾鲜红 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电镜物镜，所述扫描电镜物镜包括：物镜上极靴组件，所述物镜上极靴组件具有中空腔和第一连接口，所述中空腔内设有真空管，所述真空管用于与电子束发生腔室连通，所述真空管的端部伸至所述第一连接口处，所述第一连接口设有第一光阑；物镜下极靴，所述物镜下极靴设有第二连接口，所述第二连接口用于与样品室的内部空间连通，所述第二连接口设有第二光阑；所述物镜上极靴组件与所述物镜下极靴之间形成有夹层腔，所述第一光阑和所述第二光阑均设有与所述夹层腔连通的光阑孔，所述夹层腔具有抽真空口。本发明的扫描电镜物镜，在物镜上极靴组件与物镜下极靴之间形成可抽真空的夹层腔，利于增大真空管与样品室的内空间的气压差。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 物镜 | ||
【主权项】：
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