[发明专利]扫描电镜物镜

权利要求书

1.一种扫描电镜物镜，其特征在于，包括：

物镜上极靴组件(1)，所述物镜上极靴组件(1)具有中空腔(15)和第一连接口(113)，所述中空腔(15)内设有真空管(9)，所述真空管(9)用于与电子束发生腔室连通，且所述真空管(9)的端部伸至所述第一连接口(113)处，所述第一连接口(113)设有第一光阑(3)；

物镜下极靴(2)，所述物镜下极靴(2)设有第二连接口(21)，所述第二连接口(21)用于与样品室的内部空间连通，所述第二连接口(21)设有第二光阑(4)；

所述物镜上极靴组件(1)与所述物镜下极靴(2)之间形成有夹层腔(14)，所述第一光阑(3)和所述第二光阑(4)均设有与所述夹层腔(14)连通的光阑孔，所述夹层腔(14)具有抽真空口(13)。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜物镜，其特征在于，所述物镜上极靴组件(1)包括物镜上极靴(11)和真空连接腔体(12)，所述物镜上极靴(11)与所述物镜下极靴(2)相连，所述真空连接腔体(12)与所述物镜上极靴(11)背离所述物镜下极靴(2)的一端相连，所述抽真空口(13)设于所述真空连接腔体(12)，所述第一连接口(113)设于所述物镜上极靴(11)。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜物镜，其特征在于，所述物镜上极靴(11)包括内层部分(111)和外层部分(112)，所述外层部分(112)套设于所述内层部分(111)的一端外，所述物镜下极靴(2)套设于所述内层部分(111)的另一端外且与所述外层部分(112)相连；

其中，所述夹层腔(14)包括第一子腔(141)、中间子腔(142)和第二子腔(143)，所述第一子腔(141)形成于所述真空连接腔体(12)内，所述中间子腔(142)形成于所述内层部分(111)和所述外层部分(112)之间，所述第二子腔(143)形成于所述内层部分(111)和所述物镜下极靴(2)之间。

4.根据权利要求3所述的扫描电镜物镜，其特征在于，所述中空腔(15)包括位于所述内层部分(111)内的第一中空腔(151)和位于所述真空连接腔体(12)内的第二中空腔(152)，所述第一连接口(113)与所述第一中空腔(151)连通，所述第二中空腔(152)与所述第一中空腔(151)背离所述第一连接口(113)的一端连通，且所述第二中空腔(152)背离所述第一中空腔(151)的一端与样品室的外部空间连通。

5.根据权利要求3所述的扫描电镜物镜，其特征在于，所述外层部分(112)的外周壁设有安装凸部(1121)，所述安装凸部(1121)用于与所述样品室的周壁相连。

6.根据权利要求1所述的扫描电镜物镜，其特征在于，所述第一连接口(113)与所述第二连接口(21)在所述扫描电镜物镜的长度方向正对设置。

7.根据权利要求6所述的扫描电镜物镜，其特征在于，还包括：安装支架(6)，所述安装支架(6)的第一端位于所述第一连接口(113)内，所述安装支架(6)的第二端位于所述第二连接口(21)内；

所述第一光阑(3)穿设于所述安装支架(6)的第一端，所述第二光阑(4)穿设于所述安装支架(6)的第二端，所述安装支架(6)的中部具有与所述夹层腔(14)连通的连通口。

8.根据权利要求7所述的扫描电镜物镜，其特征在于，所述连通口为多个，多个所述连通口在所述安装支架(6)的周向上间隔开分布。

9.根据权利要求7所述的扫描电镜物镜，其特征在于，所述第一连接口(113)内设有密封补芯(7)，所述密封补芯(7)套设于所述安装支架(6)的第一端外。

10.根据权利要求9所述的扫描电镜物镜，其特征在于，所述密封补芯(7)的一端的端面与所述物镜下极靴(2)的内端面之间设有支撑件(5)。