[发明专利]扫描电镜物镜

说明书

本发明公开了一种扫描电镜物镜，所述扫描电镜物镜包括：物镜上极靴组件，所述物镜上极靴组件具有中空腔和第一连接口，所述中空腔内设有真空管，所述真空管用于与电子束发生腔室连通，所述真空管的端部伸至所述第一连接口处，所述第一连接口设有第一光阑；物镜下极靴，所述物镜下极靴设有第二连接口，所述第二连接口用于与样品室的内部空间连通，所述第二连接口设有第二光阑；所述物镜上极靴组件与所述物镜下极靴之间形成有夹层腔，所述第一光阑和所述第二光阑均设有与所述夹层腔连通的光阑孔，所述夹层腔具有抽真空口。本发明的扫描电镜物镜，在物镜上极靴组件与物镜下极靴之间形成可抽真空的夹层腔，利于增大真空管与样品室的内空间的气压差。

技术领域

本发明涉及光学检测仪器技术领域，尤其是涉及一种扫描电镜物镜。

背景技术

扫描电镜的原理是依据电子与物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息。而扫描电镜在观测一部分不导电及含水样品时，要求样品室处于低真空环境，且需要说明的是，样品室与电子镜筒、电子枪为处于连通状态，因此，既要实现样品室可变真空又要保持电子枪与镜筒内为高真空状态。而目前的设计方案中，样品室内的气压值无法满足一些含水样品在测样时对于真空环境的需求，且不能保证样品在样品室中观测时不脱水，存在改进空间。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种扫描电镜物镜，能够增大样品室和真空管之间的真空差，利于实现对一些含水样品的准确检测。

根据本发明实施例的扫描电镜物镜，包括：物镜上极靴组件，所述物镜上极靴组件具有中空腔和第一连接口，所述中空腔内设有真空管，所述真空管用于与电子束发生腔室连通，且所述真空管的端部伸至所述第一连接口处，所述第一连接口设有第一光阑；物镜下极靴，所述物镜下极靴设有第二连接口，所述第二连接口用于与样品室的内部空间连通，所述第二连接口设有第二光阑；所述物镜上极靴组件与所述物镜下极靴之间形成有夹层腔，所述第一光阑和所述第二光阑均设有与所述夹层腔连通的光阑孔，且所述夹层腔具有抽真空口。

根据本发明实施例的扫描电镜物镜，在物镜上极靴与物镜下极靴之间形成有夹层腔，通过对夹层腔的抽真空，利于增大真空管和样品室的内部空间的气压差进而可使得真空管内的真空环境能够满足一些含水样品的测样需求，同时可有效减轻样品室气压变换时对真空管内真空环境的波动影响。

根据本发明一些实施例的扫描电镜物镜，所述物镜上极靴组件包括物镜上极靴和真空连接腔体，所述物镜上极靴与所述物镜下极靴相连，所述真空连接腔体与所述物镜上极靴背离所述物镜下极靴的一端相连，所述抽真空口设于所述真空连接腔体，所述第一连接口设于所述物镜上极靴。

根据本发明一些实施例的扫描电镜物镜，所述物镜上极靴包括内层部分和外层部分，所述外层部分套设于所述内层部分的一端外，所述物镜下极靴套设于所述内层部分的另一端外且与所述外层部分相连；其中，所述夹层腔包括第一子腔、中间子腔和第二子腔，所述第一子腔形成于所述真空连接腔体内，所述中间子腔形成于所述内层部分和所述外层部分之间，所述第二子腔形成于所述内层部分和所述物镜下极靴之间。

根据本发明一些实施例的扫描电镜物镜，所述中空腔包括位于所述内层部分内的第一中空腔和位于所述真空连接腔体内的第二中空腔，所述第一连接口与所述第一中空腔连通，所述第二中空腔与所述第一中空腔背离所述第一连接口的一端连通，且所述第二中空腔背离所述第一中空腔的一端与所述样品室的外部空间连通。

根据本发明一些实施例的扫描电镜物镜，所述外层部分的外周壁设有安装凸部，所述安装凸部用于与所述样品室的周壁相连。

根据本发明一些实施例的扫描电镜物镜，所述第一连接口与所述第二连接口在所述扫描电镜物镜的长度方向正对设置。