[发明专利]一种硅片喷砂机构

摘要

本发明提供一种硅片喷砂机构，包括：摆杆：用于悬吊喷枪，其上端部的两侧面构造有相背设置的凹仓；滑块组件：构造有相对设置的对开槽孔，所述槽孔能够在喷枪工作时与所述凹仓对扣以卡紧所述摆杆，并抵顶所述摆杆的外壁面使所述摆杆架设在所述滑块组件上。本发明一种硅片喷砂机构，悬吊喷枪的摆杆与控制其往复移动的滑块组件为卡配式结构，既稳固又简单，采用结构受力替代现有的螺栓受力，增加配合强度，延长使用寿命。在摆杆上设置用于调整喷枪高度的可调组件，以适应不同工艺的喷枪高度，防止喷枪脱落。同时在摆杆外部设置防护罩，以保证其与滑块组件配合的稳定性。