[发明专利]一种硅片喷砂机构

权利要求书

1.一种硅片喷砂机构，其特征在于，包括：

摆杆：用于悬吊喷枪，其上端部的两侧面构造有相背设置的凹仓；

滑块组件：构造有相对设置的对开槽孔，所述槽孔能够在喷枪工作时与所述凹仓对扣以卡紧所述摆杆，并抵顶所述摆杆的外壁面使所述摆杆架设在所述滑块组件上；

所述摆杆被构造为扁状结构的型板，其顶部凸置于所述槽孔并沿所述槽孔对开设置的长度方向配置；

所述滑块组件还包括：

相对设置的垫块，所述槽孔被配置在所述垫块的相邻面一侧；

用于固定所述垫块的安装板，所述安装板位于所述垫块的下方且被所述摆杆贯穿设置；

并在所述安装板的两侧边还配置有用于调整所述垫块与所述摆杆松紧的立块；

所述垫块的长度小于所述安装板的长度且与所述安装板的长度中线重叠；

相对设置的所述垫块之间的宽度小于所述摆杆头部的最大宽度且大于所述摆杆头部的最小宽度；

所述垫块靠近所述凹仓一侧壁面的两端部均为斜壁面；

相对设置的所述垫块的端部构成朝外开放设置的梯形槽；

构置在所述安装板顶面上并与驱动所述滑块组件移动的偏心轮连接的连座固设在所述梯形槽内；

在所述摆杆下段部还设有用于调整喷枪高度的可调组件，包括：

沿所述摆杆高度方向构置的连杆一；

以及用于夹持所述连杆一的夹板；

所述连杆一的下端与固定喷枪的布置板连接；

调整所述连杆一与所述摆杆的配置高度并使所述夹板与所述摆杆连接；

所述夹板垂直于所述连杆一的长度设置；

所述连杆一被置于所述夹板的一端，在所述夹板的另一端还配置有连杆二，且所述连杆二的长度小于所述连杆一的长度；

所述夹板被构造为长方体结构，在其长度轴线的两端处均设有朝外设置的缝条孔，所述缝条孔分别与用于安装所述连杆一和所述连杆二的安装孔处连通设置。

2.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂机构，其特征在于，所述摆杆靠近所述喷枪一端的宽度小于其靠近所述槽孔一端的宽度。

3.根据权利要求1-2任一项所述的一种硅片喷砂机构，其特征在于，在所述安装板下方还构置有滑块以及与所述滑块配合的轨道，

所述轨道固定在支撑板上并垂直于硅片传输方向；

所述支撑板轴线上构造有用于所述摆杆往复移动的长条行程孔；

在所述行程孔的两侧还构置有支撑所述安装板的立板。

4.根据权利要求3所述的一种硅片喷砂机构，其特征在于，在所述支撑板的下方还配置有用于保护所述摆杆的防护罩，所述防护罩构造有容腔套设于所述摆杆设置。

5.根据权利要求1-2、4任一项所述的一种硅片喷砂机构，其特征在于，所述布置板上配置有若干用于安装喷枪的固定孔；

所述固定孔沿所述布置板的长度方向依次错位配置。

6.根据权利要求5所述的一种硅片喷砂机构，其特征在于，在所述布置板上，最外侧的若干所述固定孔的相对面还设有与所述固定孔相对应的凹槽。

7.根据权利要求6所述的一种硅片喷砂机构，其特征在于，置于所述布置板上的所述固定孔相对于所述布置板长度中线对称设置。