[发明专利]一种真空镀膜用旋转掩膜装置在审
| 申请号： | 202211111664.6 | 申请日： | 2022-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN115572944A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 张新岳 | 申请（专利权）人： | 深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市知高达专利代理有限公司 44869 | 代理人： | 刘琴 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜用旋转掩膜装置，包括转轴，所述转轴的外壁通过轴承转动连接有转筒，所述转筒的外壁固定套设有基片架，所述基片架的表面开设有多个放置孔，所述放置孔的内壁固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板的上侧壁放置有基片板，所述转轴的下端杆壁套设有套筒，所述套筒的外壁固定套设有环板，所述环板外设有环圈，所述环板和环圈相对一侧的侧壁固定连接有多个挡板。本发明可能够在不需要多次调节紧固螺栓的情况下，即可控制定位珠插入定位槽，操作更加简单便捷，提高了工作的便利性和能够在放置好基片板后，对基片板进行固定，避免了基片板在移动过程中会晃动，提高了基片板放置的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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