[发明专利]一种真空镀膜用旋转掩膜装置

说明书

本发明属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜用旋转掩膜装置，包括转轴，所述转轴的外壁通过轴承转动连接有转筒，所述转筒的外壁固定套设有基片架，所述基片架的表面开设有多个放置孔，所述放置孔的内壁固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板的上侧壁放置有基片板，所述转轴的下端杆壁套设有套筒，所述套筒的外壁固定套设有环板，所述环板外设有环圈，所述环板和环圈相对一侧的侧壁固定连接有多个挡板。本发明可能够在不需要多次调节紧固螺栓的情况下，即可控制定位珠插入定位槽，操作更加简单便捷，提高了工作的便利性和能够在放置好基片板后，对基片板进行固定，避免了基片板在移动过程中会晃动，提高了基片板放置的稳定性。

技术领域

本发明属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种真空镀膜用旋转掩膜装置。

背景技术

一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。

在授权专利200620097014.0提出的一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架、掩膜板，基片架上开有放置所需镀膜基片用的基片槽，基片架套在转轴上，转轴的一端端部与掩膜板固接，掩膜板上设有定位孔和挡板，挡板可遮盖基片架上的基片槽,转轴上还套有固定钢柱，固定钢柱与基片架固定在一起，转轴与固定钢柱之间设有滚珠，使转轴可在固定钢柱内转动，固定钢柱上设轴向的通孔，通孔的位置与掩膜板上的定位孔相匹配，固定钢柱与掩膜板之间设有定位圆珠，定位圆珠卡在定位孔与固定钢柱的通孔间，通孔的另一端设置紧固螺栓，通孔内放置弹簧，紧固螺栓使通孔内的弹簧挤压定位圆珠。本实用新型的真空镀膜用旋转掩膜装置具有手感强、操作简便，不影响真空度及制造方便的特点；该装置在使用时，通过调节紧固螺栓的长度从而压缩弹簧，使定位圆珠压入定位孔内，即可相对固定基片架和掩膜板，由于紧固螺栓数量较多，需要操作人员多次一一拧动紧固螺栓，操作人员工作较为繁琐，且直接将基片放置到基片槽内，缺少固定，基片容易晃动，稳定性较差。

为此，我们提出一种真空镀膜用旋转掩膜装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题，提供一种真空镀膜用旋转掩膜装置。

为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种真空镀膜用旋转掩膜装置，包括转轴，所述转轴的外壁通过轴承转动连接有转筒，所述转筒的外壁固定套设有基片架，所述基片架的表面开设有多个放置孔，所述放置孔的内壁固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板的上侧壁放置有基片板，所述转轴的下端杆壁套设有套筒，所述套筒的外壁固定套设有环板，所述环板外设有环圈，所述环板和环圈相对一侧的侧壁固定连接有多个挡板，所述套筒通过限位机构固定在转轴外，所述转筒的上侧壁开设有多个竖孔，多个所述竖孔内均插接有竖杆，所述竖杆的下端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的下端固定连接有连接座，所述连接座的下侧壁固定连接有定位珠，所述环板的上侧壁开设有与定位珠相互匹配的定位槽，多根所述竖杆的上端固定连接有同一个连接圈，所述转筒的右侧壁通过调节机构对连接圈进行固定。

优选的，所述调节机构保护固定连接在转筒右侧壁的横板，所述横板的上侧壁固定连接有竖筒，所述竖筒的内壁转动连接有螺纹筒，所述螺纹筒的内壁螺纹套接有螺纹杆，所述螺纹杆的上端和连接圈的下侧壁固定连接，所述螺纹筒的外壁固定套设有调节筒。

优选的，所述竖筒外滑动套设有限位筒，所述限位筒的内壁固定连接有限位板，所述竖筒的内壁开设有两个限位槽，所述限位筒的外壁固定套设有两个支撑圈，所述竖筒的外壁固定套设有放置圈，所述放置圈和下侧支撑圈相对一侧的侧壁固定连接有多个弹性伸缩杆，所述调节筒的外壁固定套设有定位圈，位于上侧所述支撑圈的上侧壁固定连接两根定位销，所述定位圈的侧壁开设有多个定位孔。