[发明专利]一种MEMS多电极插入式电磁流量计传感器在审

专利信息
申请号: 202211107856.X 申请日: 2022-09-13
公开(公告)号: CN115585857A 公开(公告)日: 2023-01-10
发明(设计)人: 李村;徐广青 申请(专利权)人: 江苏林村科技发展有限公司
主分类号: G01F1/58 分类号: G01F1/58
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 211400 江苏省扬*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种MEMS多电极插入式电磁流量计传感器。包括插入平均流速V的流体中的绝缘测量杆,该绝缘测量杆内有螺旋线圈,在励磁电流I下螺旋线圈中产生磁场B,绝缘测量杆底端处有一对底端电极,底端电极两点形成的直线和平均流速V以及磁场B都形成相互切割关系;在绝缘测量杆的一个侧磁面上安置一对侧面电极,侧磁面是螺旋线圈的磁场B与平均流速V在绝缘测量杆侧面形成正交切割的地方。本传感器利用螺旋线圈在绝缘测量杆侧面的侧面磁场,在绝缘测量杆侧面安置新的侧面电极。克服了流速分布和流态变化变化带来的测量误差,从根本上提高了插入式电磁流量计的精度。
搜索关键词: 一种 mems 电极 插入 电磁流量计 传感器
【主权项】:
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