[发明专利]一种MEMS多电极插入式电磁流量计传感器

权利要求书

1.一种MEMS多电极插入式电磁流量计传感器，包括插入平均流速为V的流体中的绝缘测量杆（1），绝缘测量杆（1）内有螺旋线圈（2），在励磁电流I下螺旋线圈（2）中产生磁场B，绝缘测量杆（1）底端处有一对底端电极（3、4），底端电极（3、4）两点形成的直线和平均流速V以及磁场B都形成相互切割关系；其特征在于在所述的的绝缘测量杆（1）的一个侧磁面上安置一对侧面电极（5、6），所述的侧磁面是螺旋线圈（2）的磁场B与平均流速V在绝缘测量杆（1）侧面形成正交切割的地方，同时侧面电极（5、6）两点形成的直线、平均流速V和由螺旋线圈（2）出来的磁场B都形成相互切割关系。

2.根据权利要求1所述的MEMS多电极插入式电磁流量计传感器，其特征在于在所述的绝缘测量杆（1）侧磁面对面的另一个侧磁面上安置另-对侧面电极（7、8），所述的另一个侧磁面也是螺旋线圈（2）的磁场B与平均流速V在绝缘测量杆（1）侧面形成正交切割的地方；同时，侧面电极（7、8）两点形成的直线、平均流速V和由螺旋线圈（2）出来的磁场B都形成相互切割关系。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS多电极插入式电磁流量计传感器，其特征在于所述的螺旋线圈（2）内安置-一个导磁体（9）该导磁体（9）由铁、纯铁或导磁率大于真空导磁率的材料制成。

4.根据权利要求3所述的MEMS多电极插入式电磁流量计传感器，其特征在于所述的导磁体（9）是“T”型，“个”型的竖杆插在螺旋线圈（2）内，“个”型的竖杆底部面对于底端电极（3、4），“T”型的横杆在螺旋线圈（2）上，横杆的两端分别面对于绝缘测量杆（1）两侧面上的侧面电极（5、6）和侧面电极（7、8）。

5.根据权利要求3所述的MEMS多电极插入式电磁流量计传感器，其特征在于所述的螺旋线圈（2）分成串联的两部分：上螺旋线圈（2.1）和下螺旋线圈（2.2）；所述的导磁体（9）是“十”字型的，“十”字型竖杆的上段插在上螺旋线圈（2.1）内，“十”字型竖杆的下段插在下螺旋线圈（2.2）内，“十”字型竖杆的下段底部面对于底端电极（3、4），“十”字型横杆两端分别面对于绝缘测量杆（1）两侧面上的侧面电极（5、6）和侧面电极（7、8）。

6.根据权利要求3所述的MEMS多电极插入式电磁流量计传感器，其特征在于所述的螺旋线圈（2）分成串联的两部分：上螺旋线圈（2.1）和下螺旋线圈（2.2）；所述的导磁体（9）是“干”字型的，“干”字型竖杆的中段在上螺旋线圈（2.1）内，“干”字型竖杆的下段插在下螺旋线圈（2.2）内，“干”字型竖杆的下段底部面对于底端电极（3、4），“干”字型中横杆两端分别面对于绝缘测量杆（1）两侧面上的侧面电极（5、6）和侧面电极（7、8）。