[发明专利]一种用于半导体制程废水中H2

摘要

本发明提供了一种用于半导体制程废水中H2O2去除的磁性纳米酶制备方法，属于水处理催化剂制备技术领域。方法采用具有类卟啉活性结构的金属有机框架材料(MOFs)为前驱体，利用其金属和配体的双交换特性，通过三乙胺醇解来调控体系中咪唑基配体的去质子化，从而制备得到铁、锌共掺杂的MOFs材料，接着对前驱体进行介孔硅保护、高温热解和去模板等处理操作，制备得到铁基纳米酶碳材料。本发明解决了半导体废水中高浓度H2O2对设备造成的损坏和废水处理效能降低的问题，方法制备的铁基纳米酶碳材料具有多孔结构、比表面积大、可磁性回收的优点。