[发明专利]一种基于折纸结构的MEMS电感有效
| 申请号： | 202211096989.1 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN115188559B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;高初缘;许少杰;袁翌庭;何静;黄苏畅 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01F21/00 | 分类号： | H01F21/00;H01F27/28;H01F27/32;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 杜静静 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于折纸结构的MEMS电感，包括衬底，第一输入/输出微带线、第二输入/输出微带线、折纸结构固定点、金属电感结构、绝缘结构、热驱动梁位移放大结构、电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点、折叠区绝缘结构、接地板以及锚区折叠节点。本发明MEMS电感为可重构三维结构，具有Q值高、工艺兼容等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 折纸 结构 mems 电感 | ||
【主权项】：
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