[发明专利]一种基于折纸结构的MEMS电感

权利要求书

1.一种基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，所述电感包括衬底（1），第一输入/输出微带线（21）、第二输入/输出微带线（22）、折纸结构固定点、金属电感结构、绝缘结构（34）、热驱动梁位移放大结构、电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点、折叠区绝缘结构、接地板（7）以及锚区折叠节点；所述热驱动梁位移放大结构与绝缘结构（34）连接，金属电感结构之间通过电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点和折叠区绝缘结构相连接，折纸结构固定点与金属电感结构通过锚区折叠节点相连接，第一输入/输出微带线（21）、第二输入/输出微带线（22）与折纸结构固定点相连接，所述折纸结构固定点包括第一折纸结构固定点（311）和第二折纸结构固定点（312），所述金属电感结构包括第一金属电感结构（31）、第二金属电感结构（321）、第三金属电感结构（322）、第四金属电感结构（331）、第五金属电感结构（332）、第六金属电感结构（351）、第七金属电感结构（352）、第八金属电感结构（36）、第九金属电感结构（37），第一热驱动梁支梁（441）、第三热驱动梁支梁（443）、第一热驱动梁固定点（431）、第三热驱动梁固定点（433）和第一热驱动梁推动杆（411）组成第一热驱动梁；第二热驱动梁支梁（442）、第四热驱动梁支梁（444）、第二热驱动梁固定点（432）、第四热驱动梁固定点（434）和第二热驱动梁推动杆（412）组成第二热驱动梁；所述第一热驱动梁、第二热驱动梁和六边形结构梁（45）组成热驱动梁位移放大结构，所述电感绝缘结构包括第一电感绝缘结构（511）、第二电感绝缘结构（512）、第三电感绝缘结构（513）和第四电感绝缘结构（514），所述向上折叠节点包括第一向上折叠节点（521）、第二向上折叠节点（522）、第三向上折叠节点（523）和第四向上折叠节点（524）；所述向下折叠节点包括第一向下折叠节点（611）和第二向下折叠节点（612），所述折叠区绝缘结构包括第一折叠区绝缘结构（621）、第二折叠区绝缘结构（622）和第三折叠区绝缘结构（623），所述锚区折叠节点包括第一锚区折叠节点（81）、第二锚区折叠节点（82）、第三锚区折叠节点（83）和第四锚区折叠节点（84），六边形结构梁（45）的x轴方向两端分别与第一热驱动梁推动杆（411）和第二热驱动梁推动杆（412）相连接，六边形结构梁（45）的y轴正方向的一端与绝缘结构（34）相连接，第一热驱动梁支梁（441）的两端分别与第一热驱动梁固定点（431）和第一热驱动梁推动杆（411）相连接，第二热驱动梁支梁（442）的两端分别与第二热驱动梁固定点（432）和第二热驱动梁推动杆（412）相连接，第三热驱动梁支梁（443）的两端分别与第三热驱动梁固定点（433）和第一热驱动梁推动杆（411）相连接，第四热驱动梁支梁（444）的两端分别与第四热驱动梁固定点（434）和第二热驱动梁推动杆（412）相连接，第一折纸结构固定点（311）、第二折纸结构固定点（312）和第三折纸结构固定点（313）放置于衬底（1）上，第三锚区折叠节点（83）的y轴方向两端分别与第一金属电感结构（31）和第三折纸结构固定点（313）相连接，第一锚区折叠节点（81）的y轴方向两端分别与第二金属电感结构（321）和第一折纸结构固定点（311）相连接，第二锚区折叠节点（82）的y轴方向两端分别与第三金属电感结构（322）和第二折纸结构固定点（312）相连接，第一向上折叠节点（521）、第二向上折叠节点（522）、第三向上折叠节点（523）和第四向上折叠节点（524）分布于MEMS电感可重构结构的下表面，第一向下折叠节点（611）和第二向下折叠节点（612）分布于MEMS电感可重构结构的上表面，第一电感绝缘结构（511）、第二电感绝缘结构（512）、第三电感绝缘结构（513）、第四电感绝缘结构（514）、第一折叠区绝缘结构（621）、第二折叠区绝缘结构（622）和第三折叠区绝缘结构（623）分布于MEMS电感可重构结构，第一电感绝缘结构（511）的x轴方向两端分别与第一金属电感结构（31）和第二金属电感结构（321）相连接，第二电感绝缘结构（512）的x轴方向两端分别与第三金属电感结构（322）和第一金属电感结构（31）相连接，第三电感绝缘结构（513）的x轴方向两端分别与第六金属电感结构（351）和第九金属电感结构（37）相连接，第四电感绝缘结构（514）的x轴方向两端分别与第七金属电感结构（352）和第九金属电感结构（37）相连接，第一向上折叠节点（521）的y轴方向两端分别与第四金属电感结构（331）和第二金属电感结构（321）相连接，第二向上折叠节点（522）的y轴方向两端分别与第四金属电感结构（331）和第八金属电感结构（36）相连接，第三向上折叠节点（523）的y轴方向两端分别与第五金属电感结构（332）和第八金属电感结构（36）相连接，第四向上折叠节点（524）的y轴方向两端分别与第五金属电感结构（332）和第三金属电感结构（322）相连接，第一向下折叠节点（611）的y轴方向两端分别与第二金属电感结构（321）和第六金属电感结构（351）相连接，第二向下折叠节点（612）的y轴方向两端分别与第三金属电感结构（322）和第七金属电感结构（352）相连接，第一折叠区绝缘结构（621）的y轴方向两端分别与第四金属电感结构（331）和第九金属电感结构（37）相连接，第二折叠区绝缘结构（622）的y轴方向两端分别与第一金属电感结构（31）和第八金属电感结构（36）相连接，第三折叠区绝缘结构（623）的y轴方向两端分别与第五金属电感结构（332）和第九金属电感结构（37）相连接，第九金属电感结构（37）和第四锚区折叠节点（84）相连接，绝缘结构（34）的y轴方向两端分别与第四锚区折叠节点（84）和六边形结构梁（45）相连接，所述MEMS电感可重构结构悬空于衬底（1）上；所述第一输入/输出微带线（21）和第二输入/输出微带线（22）放置于衬底（1）上；所述接地板（7）位于衬底（1）背面。