[发明专利]一种运动轴热误差动态补偿方法在审
| 申请号： | 202211093728.4 | 申请日： | 2022-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN115629572A | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 王敕;卜佳俊;赵亚利;尚明伟;王东旭;陈柏;王旦 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/404 | 分类号： | G05B19/404 |
| 代理公司： | 苏州瑞光知识产权代理事务所(普通合伙) 32359 | 代理人： | 殷瑜 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种运动轴热误差动态补偿方法，包括以下步骤：S1、建立模型：建立运动轴的三维模型并导入仿真软件中；S2、边界条件计算：定义运动副的运动参数、冷却液的入口速度和出口压力、运动副粘性阻尼和环境温度，根据上述定义计算边界条件；S3、模型仿真：根据计算得到的边界条件，在仿真软件中对运动轴三维模型对进行热力学和静力学有限元仿真分析，得到仿真结果；S4、热误差模型建立；S5、热误差补偿：将热误差预测模型嵌入运动轴数控系统中，实现运动轴的热误差补偿。本发明相较于现有技术，有效消除芯片加工过程中运动轴热误差导致的定位精度问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运动 误差 动态 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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